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硅碳化物(SiC)作為一種具有前景的材料,在功率電子學(xué)領(lǐng)域中扮演著重要角色,尤其在SOI(硅上的絕緣體)結(jié)構(gòu)上生長的SiC層,對(duì)于創(chuàng)建二極管結(jié)構(gòu)、微電機(jī)系統(tǒng)(MEMS)和光電子設(shè)備具有特別的意義。

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