掃描電鏡能譜一體機是光學(xué)表征儀器產(chǎn)品的全明星，用戶通過一臺設(shè)備就可以實現(xiàn)形貌表征及元素分析功能。研究樣品時，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。

　　掃描電鏡能譜一體機內(nèi)部集成了用于分析樣品元素組分的能譜儀。對于很多既需要觀察表面形貌又要檢測表面元素組分分布的用戶非常適用，既減輕了用戶單次設(shè)備采購成本，又具有體積小、集成化高、故障率低、易于使用維護等諸多優(yōu)點。

　　掃描電鏡能譜一體機標(biāo)配光學(xué)導(dǎo)航功能，點擊感興趣的區(qū)域，在數(shù)秒內(nèi)既可以得到樣品微觀形貌信息，點擊切換至能譜軟件界面可快速得到該區(qū)域的表面元素分布信息。

　　掃描電鏡能譜軟件可以使用戶實現(xiàn)多點分析，靈活檢測樣品的元素組分。同時，該軟件還支持元素分析線掃、面掃功能。優(yōu)化精簡的操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導(dǎo)出分析數(shù)據(jù)。

 -Bruker臺式掃描電鏡專用能譜儀軟件功能

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