掃描電鏡圖像如何進(jìn)行尺寸標(biāo)定？

掃描電鏡（SEM）圖像的尺寸標(biāo)定是為了確保圖像上的距離測量與實(shí)際物理尺寸相對應(yīng)。

樣品偏斜角度會影響掃描電鏡成像效果嗎

樣品的偏斜角度會顯著影響掃描電鏡（SEM）的成像效果。

掃描電鏡（SEM）拍攝圖像出現(xiàn)拖影（smearing、streaking 或 shadowing），通常表現(xiàn)為圖像邊緣模糊、重復(fù)輪廓或拉長的影子。

判斷掃描電鏡（SEM）下樣品是否被污染，通?？梢酝ㄟ^以下幾個(gè)方面進(jìn)行觀察和分析：

非導(dǎo)電樣品在掃描電鏡（SEM）中成像時(shí)會面臨一個(gè)主要問題：電荷積累（charging）。因?yàn)殡娮邮Z擊非導(dǎo)體后，電子無法迅速導(dǎo)出，導(dǎo)致樣品表面積累負(fù)電荷，從而產(chǎn)生圖像漂移、亮度不均甚至成像失敗。

掃描電鏡（SEM）中，Z方向調(diào)節(jié)即樣品臺的上下移動，直接影響樣品表面與電子槍之間的工作距離（WD, working distance），對焦的準(zhǔn)確性和成像質(zhì)量高度依賴這個(gè)參數(shù)。

掃描電鏡（SEM）工作時(shí)對真空度要求較高，若真空度不夠（即腔室壓力偏高），會對成像質(zhì)量和設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生一系列不良影響。

樣品表面污染會顯著影響掃描電鏡（SEM）成像質(zhì)量，具體表現(xiàn)和影響如下：