臺(tái)式掃描電鏡（SEM）光闌是位于電子槍出口處的一個(gè)圓形金屬片，其作用是限制電子束的直徑和控制束斑的形狀，以便獲得高分辨率的SEM圖像。具體來(lái)說(shuō)，光闌主要有以下兩個(gè)作用：

控制電子束的直徑：光闌的中心孔洞大小決定了電子束的直徑。通過(guò)調(diào)節(jié)光闌的孔徑大小，可以控制束斑的直徑，從而控制電子束的聚焦程度。這對(duì)于SEM圖像的分辨率非常重要，因?yàn)楦〉氖呖梢蕴峁└叩姆直媛屎透逦膱D像。

控制電子束的形狀：光闌可以調(diào)整束斑的形狀，通常使用的是圓形或橢圓形。這是因?yàn)樵诠鈱W(xué)鏡頭中，光線(xiàn)會(huì)被聚焦成圓形或橢圓形的光斑，而電子顯微鏡也使用類(lèi)似的聚焦原理。光闌可以幫助SEM控制束斑的形狀，從而獲得更好的SEM圖像。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

綜上所述，光闌是臺(tái)式掃描電鏡系統(tǒng)中非常重要的組成部分，它能夠控制電子束的直徑和形狀，從而獲得高分辨率和清晰的圖像。因此，保持光闌的清潔和良好狀態(tài)對(duì)于SEM的正常運(yùn)行和成像非常重要。

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