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掃描電鏡如何找到想要觀察的位置?

日期:2025-11-18

以下是掃描電鏡幾種核心方法和操作技巧,結(jié)合使用可以找到目標(biāo):

核心方法:由粗到精,逐級(jí)定位

第一步:宏觀定位(用眼睛和光學(xué)顯微鏡)

做好樣品標(biāo)記: 這是重要的一步!在制備樣品時(shí),就要用特殊標(biāo)記來圈定你感興趣的區(qū)域。

金剛筆刻劃: 在樣品臺(tái)或樣品邊緣用金剛筆刻劃一個(gè)箭頭或方框,指向目標(biāo)區(qū)域。

導(dǎo)電膠帶定位: 粘貼樣品時(shí),讓導(dǎo)電膠帶的一角靠近你的目標(biāo)。

激光打標(biāo)/FIB標(biāo)記: 對(duì)于要求高的樣品,可以使用聚焦離子束(FIB)或激光在目標(biāo)周圍刻上微米級(jí)的定位符號(hào)(如十字線)。

利用樣品本身特征: 記住目標(biāo)區(qū)域相對(duì)于樣品邊緣、裂痕、明顯大顆粒等獨(dú)特宏觀特征的位置。

使用光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng):

現(xiàn)代掃描電鏡都配有內(nèi)置的光學(xué)顯微鏡(導(dǎo)航相機(jī))。

先將樣品臺(tái)移動(dòng)到你能用肉眼從窗口看到樣品大致位置。

然后切換到光學(xué)顯微鏡模式,在電腦屏幕上觀察。光學(xué)顯微鏡的視野大(通常是厘米/毫米級(jí)),可以輕松找到你之前做的標(biāo)記。

在光學(xué)視野中,將你的目標(biāo)區(qū)域移動(dòng)到屏幕中央的十字線位置。

第二步:電鏡低倍率搜尋

切換到電鏡模式,使用低電壓和低倍率:

從非常低的加速電壓(如5kV)和低倍率(如50x - 200x)開始抽真空并成像。

為什么用低倍率? 因?yàn)楸堵试降?,視野越大,尋找速度越快,而且?duì)未噴金的非導(dǎo)電樣品損傷小。

此時(shí),你會(huì)在電鏡圖像中看到你在光學(xué)顯微鏡下定位的那個(gè)標(biāo)記(如刻痕或膠帶邊緣)。

“地標(biāo)”導(dǎo)航法:

將標(biāo)記(如刻痕)當(dāng)作“地標(biāo)”。

以這個(gè)地標(biāo)為起點(diǎn),像看地圖一樣,沿著你記憶中目標(biāo)的方向,小幅度、緩慢地移動(dòng)樣品臺(tái)。

一邊移動(dòng),一邊觀察屏幕,尋找下一個(gè)明顯的“地標(biāo)”(比如一個(gè)特殊形狀的大顆粒、一個(gè)孔洞等)。

第三步:逐級(jí)放大,縮小包圍圈

找到大致區(qū)域后,逐步提高倍率(例如從200x -> 500x -> 1000x)。

每次提高倍率后,圖像視野會(huì)變小,你需要再次微調(diào)樣品臺(tái),將你認(rèn)為的目標(biāo)置于屏幕中心。

重復(fù)這個(gè)過程,直到在你的視野中找到想要觀察的微觀結(jié)構(gòu)。

實(shí)用技巧與注意事項(xiàng)

使用低分辨率/快速掃描模式: 在低倍率搜尋時(shí),可以使用較快的掃描速度(較低的掃描分辨率),這樣圖像刷新快,便于你快速瀏覽大面積區(qū)域。

善用“圖片導(dǎo)航”或“地圖”功能: 許多現(xiàn)代電鏡軟件有“Map”或“Navigation”功能。它可以先拍一張低倍率的大視野“地圖”,然后你可以在“地圖”上直接點(diǎn)擊感興趣的點(diǎn),電鏡會(huì)自動(dòng)將樣品臺(tái)移動(dòng)到該點(diǎn)進(jìn)行高倍觀察。

控制移動(dòng)速度: 開始搜尋時(shí),樣品臺(tái)移動(dòng)速度可以快一些;越接近目標(biāo),移動(dòng)速度要調(diào)得越慢,以免“飛”過頭。

注意工作距離: 確保你的工作距離(WD)設(shè)置正確。工作距離太短或太長(zhǎng)都會(huì)影響視野和成像質(zhì)量。

保持耐心: 找位置是一個(gè)需要耐心和經(jīng)驗(yàn)的過程。第一次可能會(huì)花很長(zhǎng)時(shí)間,但隨著操作次數(shù)的增加,你會(huì)越來越熟練。


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作者:澤攸科技


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