掃描電子顯微鏡是各大專業(yè)領(lǐng)域廣泛使用的重要研究和分析測(cè)試工具。本文由澤攸科技小編帶大家對(duì)掃描電子顯微鏡的工作原理進(jìn)行一個(gè)比較系統(tǒng)的介紹。

掃描電子顯微鏡是檢測(cè)樣品表面形貌的大型儀器。當(dāng)具有一定能量的入射電子束轟擊樣品表面時(shí)，電子與元素核和外層電子發(fā)生一次或多次彈性和非彈性碰撞。一些電子被樣品表面反射，而其余電子則穿透樣品逐漸失去動(dòng)能，之后停止運(yùn)動(dòng)而被樣品吸收。在這個(gè)過程中，百分之99以上的入射電子能量轉(zhuǎn)化為樣品熱能，剩余約百分之1的入射電子能量激發(fā)樣品的各種信號(hào)。這些信號(hào)主要包括二次電子、背散射電子、吸收電子、透射電子、俄歇電子、電子電動(dòng)勢(shì)、陰極發(fā)光、X射線等。掃描電鏡設(shè)備利用這些信號(hào)獲取信息來(lái)分析樣品。

 
ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡
 

掃描電子顯微鏡通常至少有一個(gè)檢測(cè)器（通常是二次電子檢測(cè)器SEI），許多還配備了額外的檢測(cè)器，如EDS、BSE、WDS、EBSD、CL等，但具體儀器的特殊功能強(qiáng)烈依賴于一個(gè)合適的檢測(cè)器，檢測(cè)器的安裝角度是樣品分析室的專業(yè)設(shè)計(jì)，對(duì)分析效果有很大的影響。深入了解各種功能機(jī)制，可以獲得高電子顯微鏡分析質(zhì)量。

希望本文的介紹能為對(duì)臺(tái)式掃描電子顯微鏡的原理的研究提供參考，關(guān)于掃描電子顯微鏡的價(jià)格請(qǐng)咨詢