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掃描電鏡日常維護要注意哪些細節(jié)

日期:2022-06-15

掃描電鏡日常維護要注意哪些細節(jié),下面澤攸科技小編為您介紹一下。掃描電鏡一種新型的電子光學儀器。它具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點。數(shù)十年來,掃描電鏡已廣泛地應用在生物學、醫(yī)學、冶金學等學科的領域中,促進了各有關學科的發(fā)展。

 

臺式掃描電鏡1.jpg

臺式掃描電鏡

  掃描電鏡是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆 粒,成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是主要的成像信號。由電子槍發(fā)射的能量為 5 ~ 35keV 的電子,以其交 叉斑作為電子源,經(jīng)二級聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定束流強度 和束斑直徑的微細電子束,在掃描線圈驅(qū)動下,于試樣表面按一定時間、空間順序作柵網(wǎng)式掃描。聚焦電子束與試樣相互作用,產(chǎn)生二次電子發(fā)射(以及其它物 理信號),二次電子發(fā)射量隨試樣表面形貌而變化。二次電子信號被探測器收集 轉(zhuǎn)換成電訊號,經(jīng)視頻放大后輸入到顯像管柵極,調(diào)制與入射電子束同步掃描的 顯像管亮度,得到反映試樣表面形貌的二次電子像。

 

  掃描電鏡的日常維護

  1.保持儀器操作臺面整潔,不允許身體倚靠,凍水機等裝置不可放置重物

  2.開機時一定要先開水冷系統(tǒng),并要檢查冷卻水的溫度,關機至少15分鐘后才能關閉冷卻水

  3.進樣品時,檢查Z軸和T軸的位置.緩緩關閉樣品室,確保進樣倉門關閉,才可點擊EVAC按鈕抽氣

  4.移動樣品,通過配合移動Stage Driver 將載物臺向X軸和Y軸方向移動,從而移動樣品,并保證小于Z大允許值

  5.傾斜樣品,-10°~+45°,要十分當心,不要撞壞探頭。要根據(jù)樣品臺和樣品狀況選擇傾斜角度,注樣品可傾斜的角度要小于允許值,防止樣品撞傷物鏡極靴

  6.用BSE探頭時不可傾斜樣品臺

  7.樣品只有在加速電壓關閉的情況下才可取出,不作樣品掃描時要關閉高壓

  8.放氣時HT要處于關閉狀態(tài),要等待120秒后才可輕輕拉開樣品交換倉的門

  9.更換鎢燈絲時, 等待兩分鐘時間,然后打開電子槍,用專門的器具取出鎢燈絲連同鎢燈絲罩,以免被燙傷

  10.電鏡需要手動調(diào)節(jié)的部分主要有光闌,象散,工作距離調(diào)節(jié)的旋鈕等,其他部件不允許調(diào)整

  11.每周加兩到三次液氮,兩次間隔不超過四天。

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掃描電鏡 掃描電鏡日常維護

作者:澤攸科技


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