掃描電鏡（SEM）通過對(duì)電子束進(jìn)行聚焦和定位來實(shí)現(xiàn)高分辨率的顯微觀察。控制電子束的聚焦和定位主要涉及磁透鏡系統(tǒng)和樣品掃描控制。

電子束聚焦： SEM中的電子束聚焦主要是通過磁透鏡系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)的。這些磁透鏡系統(tǒng)包括透鏡和除焦磁鐵等元件。當(dāng)電子束通過透鏡系統(tǒng)時(shí)，透鏡會(huì)對(duì)電子束進(jìn)行聚焦，使其在樣品表面形成一個(gè)小的聚焦點(diǎn)。透鏡系統(tǒng)中的電流或電壓可以調(diào)節(jié)，從而控制電子束的聚焦效果。聚焦后的電子束能夠提供更小的束斑（beam spot），從而獲得更高的分辨率。

電子束定位：電子束的定位是指將電子束準(zhǔn)確地定位在樣品的不同區(qū)域。這是通過控制樣品臺(tái)的運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)的。樣品臺(tái)可以在水平和垂直方向上進(jìn)行微小的運(yùn)動(dòng)，使得電子束可以掃描在樣品表面的不同區(qū)域。通過控制樣品臺(tái)的運(yùn)動(dòng)，可以將電子束定位在特定的樣品區(qū)域，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)不同區(qū)域的觀察和分析。

SEM中的電子束聚焦和定位通常由計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)。操作者可以通過計(jì)算機(jī)界面調(diào)整電子束的聚焦和定位參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)所需的觀察和分析。通過對(duì)電子束進(jìn)行準(zhǔn)確的聚焦和定位，SEM可以提供高分辨率和高精度的顯微觀察，并在樣品表面獲取豐富的信息。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡如何控制電子束的聚焦和定位。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢