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掃描電鏡探針電流的影響因素

日期:2024-07-05

掃描電子顯微鏡(SEM)中,探針電流(也稱為束流電流或探針電流)是指電子束從電子槍發(fā)射到樣品表面上的電流強(qiáng)度。探針電流的大小直接影響成像的分辨率、信噪比和樣品的損傷程度。因此,選擇適當(dāng)?shù)奶结橂娏鲗?duì)獲得高質(zhì)量的圖像至關(guān)重要。

探針電流的影響因素

電子槍類型:

鎢燈絲(W):探針電流較大,但分辨率較低,壽命較短。

六硼化鑭(LaB6):比鎢燈絲有更高的亮度和壽命,分辨率較高。

場(chǎng)發(fā)射槍(FEG):提供亮度和分辨率,但價(jià)格較高,操作和維護(hù)復(fù)雜。

加速電壓:

較高的加速電壓通常會(huì)增加探針電流,但可能會(huì)導(dǎo)致樣品損傷。

較低的加速電壓適合觀察表面結(jié)構(gòu),但探針電流較小,信噪比較低。

孔徑尺寸:

較大的孔徑允許更多的電子通過,增加探針電流,但會(huì)降低分辨率。

較小的孔徑提高分辨率,但減少探針電流。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡探針電流的影響因素。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢 



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作者:澤攸科技


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