如果在用掃描電鏡（SEM）時(shí)發(fā)現(xiàn)圖像有噪點(diǎn)或“發(fā)虛”，大致可以從以下幾個(gè)方向排查并改進(jìn)：

一、圖像有很多噪點(diǎn)（畫(huà)面顆粒感強(qiáng)）

這是信噪比低的表現(xiàn)，原因可能有：

掃描太快了，電子束在每個(gè)像素停留的時(shí)間太短，信號(hào)不夠穩(wěn)定；

束流太低，產(chǎn)生的二次電子信號(hào)太少；

沒(méi)有進(jìn)行多幀平均（Frame Averaging）；

樣品導(dǎo)電性差，出現(xiàn)電子聚集現(xiàn)象（充電效應(yīng)）；

解決辦法：

降低掃描速度，讓電子束在每個(gè)像素上多停一會(huì)；

稍微提高束流強(qiáng)度，讓信號(hào)更強(qiáng)一點(diǎn)（但不要太高，避免燒樣）；

打開(kāi) Frame Averaging 功能，多幀疊加可顯著減少隨機(jī)噪聲；

樣品如果不導(dǎo)電，可以考慮噴金、噴碳，或者加導(dǎo)電膠提升導(dǎo)電性。

二、圖像發(fā)虛（細(xì)節(jié)模糊、邊緣不清楚）

這通常和對(duì)焦不準(zhǔn)或系統(tǒng)像差有關(guān)，也可能是樣品漂移造成的。

原因可能包括：

聚焦沒(méi)有調(diào)好；

像差校正沒(méi)做；

樣品高度不合適，工作距離設(shè)置錯(cuò)誤；

樣品受熱漂移、震動(dòng)或不穩(wěn)定；

解決辦法：

手動(dòng)調(diào)焦時(shí)要慢慢來(lái)，先粗調(diào)，再細(xì)調(diào)；

使用 Stigmator 功能校正像差，尤其在高放大倍率下；

調(diào)整樣品高度，讓工作距離保持在建議范圍內(nèi)（比如 8mm 左右）；

樣品裝好后靜置幾分鐘，讓它溫度和位置都穩(wěn)定，再拍照；

如果樣品不穩(wěn)，建議用更強(qiáng)的膠固定或者減少外界干擾。

其他建議：

對(duì)焦和校正在稍低倍率下進(jìn)行，再放大去拍高分辨圖；

拍圖時(shí)切換到“慢速掃描”或“積分模式”獲取高質(zhì)量的效果；

如果是非導(dǎo)電材料，電壓不宜太高，建議用 3～5 kV，減少充電；

圖像虛或漂移嚴(yán)重時(shí)，試著減小放大倍率排查是否是樣品問(wèn)題。