判斷掃描電鏡（SEM）是否需要重新調(diào)焦，可以通過以下幾個(gè)方法和信號(hào)來判斷：

一、圖像質(zhì)量變化

圖像模糊

如果圖像出現(xiàn)模糊或不清晰的現(xiàn)象，即使在適當(dāng)?shù)碾娏骱图铀匐妷合?，通常是焦點(diǎn)不準(zhǔn)的表現(xiàn)。特別是在成像時(shí)無法看到細(xì)節(jié)或有明顯的陰影。

邊緣不清晰

掃描電鏡的焦點(diǎn)不準(zhǔn)時(shí)，樣品的邊緣會(huì)變得模糊或不鋒利，難以分辨細(xì)小的結(jié)構(gòu)。

圖像對(duì)比度降低

失焦可能導(dǎo)致圖像的對(duì)比度不如正常時(shí)明顯，細(xì)節(jié)缺失或無法區(qū)分樣品的不同部分。

層次感下降

掃描電鏡需要通過精確的焦距來獲得樣品表面的三維信息。如果焦距偏離，可能導(dǎo)致表面形態(tài)不清晰或立體感不足。

二、樣品特性變化

焦點(diǎn)漂移

如果在長(zhǎng)時(shí)間成像過程中，圖像的清晰度不斷下降，可能是焦點(diǎn)漂移導(dǎo)致的。通常需要重新校準(zhǔn)焦距。

層間對(duì)比度變化

對(duì)于較復(fù)雜或多層的樣品，焦距不準(zhǔn)會(huì)影響層間的對(duì)比度，使得不同層次之間的區(qū)分變得困難。

三、操作過程中出現(xiàn)的問題

掃描過程中出現(xiàn)"散射"或"模糊"

在較低放大倍率下，如果圖像顯示正常但在高放大倍率下圖像變得模糊，可能是焦點(diǎn)失準(zhǔn)所致。

點(diǎn)像散射

如果發(fā)現(xiàn)圖像中出現(xiàn)明顯的圓形散點(diǎn)或亮斑，可能是樣品表面或內(nèi)部的聚焦不準(zhǔn)確。

四、通過實(shí)際操作判斷

焦點(diǎn)校準(zhǔn)（Adjust Focus）

進(jìn)入SEM的焦點(diǎn)調(diào)整模式，嘗試微調(diào)焦點(diǎn)。若圖像迅速變得更清晰或者更加模糊，則說明焦點(diǎn)需要重新調(diào)整。

利用電子束掃描小物體

通過掃描已知細(xì)節(jié)明確的小物體（例如細(xì)微顆粒、裂縫等），檢查是否能獲得高質(zhì)量的清晰度和細(xì)節(jié)。如果不清晰，可能是焦距不合適。

檢查圖像清晰度曲線

一些SEM設(shè)備提供焦距校準(zhǔn)功能，可以通過查看圖像清晰度隨焦距的變化來確定是否需要重新調(diào)焦。

五、其他判斷方法

調(diào)節(jié)電流時(shí)的響應(yīng)

調(diào)整探針電流（束流強(qiáng)度）時(shí)，如果焦點(diǎn)不正確，圖像的亮度和對(duì)比度可能變化不規(guī)律。

使用標(biāo)準(zhǔn)樣品

使用已知的標(biāo)準(zhǔn)樣品（如標(biāo)準(zhǔn)微米顆粒）進(jìn)行測(cè)試，觀察圖像是否能清晰呈現(xiàn)。如果無法清晰顯示標(biāo)準(zhǔn)樣品的細(xì)節(jié)，則說明可能需要重新調(diào)焦。