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掃描電鏡圖像中出現(xiàn)條紋或顆粒感,可能是什么原因?

日期:2025-05-26

掃描電鏡(SEM)圖像中出現(xiàn)條紋(stripes, banding)或顆粒感(grainy texture, noise),可能源于以下幾類問題,分別涉及設(shè)備、樣品、成像參數(shù)和環(huán)境因素:

一、圖像出現(xiàn)條紋的可能原因

1. 電磁干擾

表現(xiàn):規(guī)則性條紋、周期性波形干擾,可能在水平方向尤其明顯。

原因:周圍有強(qiáng)電磁源(如高壓線、變壓器、無線信號(hào)等)。

解決辦法:

檢查接地是否良好。

更換電源插座或使用凈化電源。

遠(yuǎn)離電磁干擾源,必要時(shí)加裝屏蔽罩。

2. 掃描系統(tǒng)問題

表現(xiàn):圖像中出現(xiàn)規(guī)律性橫線或豎線。

原因:

掃描線偏移或未對(duì)準(zhǔn);

探測(cè)器接收信號(hào)異?;螂娎|接觸不良。

解決辦法:

重啟儀器或重新加載掃描參數(shù);

檢查探測(cè)器接頭和電纜。

3. 樣品充電效應(yīng)

表現(xiàn):條紋或明暗帶隨掃描位置變化。

原因:樣品非導(dǎo)體或?qū)щ娡繉硬蛔?,?dǎo)致電子堆積。

解決辦法:

涂覆導(dǎo)電材料(如金、碳);

使用低加速電壓觀察;

開啟樣品充電補(bǔ)償功能(若設(shè)備支持)。

二、圖像出現(xiàn)顆粒感的可能原因

1. 信噪比低 / 圖像噪聲大

表現(xiàn):圖像像“沙子”一樣,顆粒感嚴(yán)重。

原因:

探測(cè)器接收到的電子信號(hào)強(qiáng)度弱;

放大倍率太高但像素分辨率不足;

探測(cè)器靈敏度未調(diào)好。

解決辦法:

增加探測(cè)器增益或調(diào)整亮度/對(duì)比度;

降低放大倍率或提高像素?cái)?shù);

使用較慢的掃描速度或幀累積(frame integration)功能。

2. 樣品本身粗糙或微結(jié)構(gòu)復(fù)雜

表現(xiàn):顆粒結(jié)構(gòu)本身來源于樣品表面形貌。

解決辦法:

確認(rèn)是否為真實(shí)形貌;

可結(jié)合其他放大倍數(shù)或樣品角度重復(fù)確認(rèn)。

3. 樣品污染或制備不當(dāng)

表現(xiàn):圖像上雜亂的亮點(diǎn)或顆粒感隨樣品改變而變化。

原因:

樣品上有污染物(如油、水分、膠殘留);

冷凍樣品未完全干燥。

解決辦法:

清潔樣品;

優(yōu)化樣品制備流程(如冷凍干燥、等離子清洗)。


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作者:澤攸科技


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