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掃描電鏡的放大倍數(shù)怎么調(diào)?

日期:2025-07-10

在掃描電鏡(SEM)中,放大倍數(shù)是通過調(diào)節(jié)電子束掃描范圍來實(shí)現(xiàn)的,而不是像光學(xué)顯微鏡那樣靠更換鏡頭。你可以通過以下幾種方式來調(diào)節(jié)放大倍數(shù):

一、在軟件界面中調(diào)節(jié)放大倍數(shù)

主操作界面或控制面板

通常有“Magnification”或“Mag”標(biāo)志的控制區(qū)域;

可以通過滑塊、旋鈕、按鈕或直接輸入數(shù)值進(jìn)行調(diào)節(jié);

常見的調(diào)節(jié)范圍為幾十倍到幾十萬倍(如 20× ~ 500,000×)。

使用鼠標(biāo)滾輪縮放

在部分系統(tǒng)中,放大倍數(shù)可以通過滾輪縮放圖像實(shí)現(xiàn);

向上滾動:放大,向下滾動:縮小。

快捷按鈕切換倍數(shù)

一些設(shè)備提供常用倍數(shù)的快捷鍵(如 1k、5k、10k、50k);

點(diǎn)擊即可快速跳轉(zhuǎn)到指定放大倍率。

二、成像參數(shù)對放大倍數(shù)的影響

工作距離(Working Distance, WD)

WD 增大,會減小放大倍數(shù)上限;

WD 減小,可獲得更高的放大倍數(shù)和更清晰圖像(視樣品情況而定)。

加速電壓(kV)

高電壓有助于穿透厚樣品,但放大時(shí)可能造成圖像發(fā)散;

高倍觀察時(shí)通常降低電壓(如 3~5kV),以提升分辨率和減小充電。

三、技術(shù)原理小提示

SEM 的放大是通過調(diào)節(jié)掃描線圈控制電子束在樣品表面的掃描面積;

掃描面積變小 → 看到的區(qū)域變少 → 圖像被“放大”;

所以改變的是掃描范圍,不是光學(xué)路徑。

四、注意事項(xiàng)

放大倍數(shù)≠分辨率,要獲得高質(zhì)量圖像,樣品制備和系統(tǒng)對焦也非常重要;

放大太高時(shí)如圖像模糊,建議重新對焦、減小工作距離或改善導(dǎo)電性;

圖像保存時(shí)放大倍數(shù)會自動記錄在圖像下方比例尺中,也可以手動標(biāo)注。


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作者:澤攸科技


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