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掃描電鏡樣品尺寸太大怎么辦?

日期:2025-07-25

當(dāng)掃描電鏡(SEM)樣品尺寸太大,無(wú)法直接放入樣品倉(cāng)或樣品臺(tái)時(shí),可以采取以下幾種方法應(yīng)對(duì),確保安全、成像清晰且設(shè)備不受損:

一、判斷“太大”的具體問(wèn)題在哪:

樣品倉(cāng)空間不足

樣品太高或太寬,裝不進(jìn) SEM 的樣品室。

樣品臺(tái)行程限制

就算勉強(qiáng)放得下,也可能無(wú)法移動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、傾斜觀察。

電子槍距離樣品過(guò)近

導(dǎo)致無(wú)法聚焦,甚至撞擊探頭或噴嘴。

二、解決方法

1. 對(duì)樣品進(jìn)行裁切或分段取樣

若樣品可破壞處理,建議切取其中具有代表性的一小塊進(jìn)行觀察;

使用切割機(jī)、磨片機(jī)等工具,保留感興趣區(qū)域。

2. 調(diào)整安裝方式

將樣品側(cè)放、斜放、倒放,嘗試不同角度安裝;

使用特制夾具或底座適配非標(biāo)準(zhǔn)尺寸;

部分 SEM 樣品臺(tái)可調(diào)節(jié)高度,嘗試降低平臺(tái)或使用薄載物盤。

3. 使用斷面觀察方式

對(duì)大型樣品切取橫截面或表面層,便于分析內(nèi)部結(jié)構(gòu)或表面涂層。

4. 升級(jí)或更換樣品艙配件

一些 SEM 提供大樣品腔體或定制腔體,可更換腔門或支架適應(yīng)大型樣品;

或聯(lián)系廠家獲取更大尺寸適配件。

5. 使用臺(tái)式 SEM

某些臺(tái)式 SEM支持更寬松的樣品空間設(shè)計(jì);

適合對(duì)小區(qū)域進(jìn)行快速觀察,適應(yīng)性較好。

6. 必要時(shí)借助非接觸成像設(shè)備

若樣品無(wú)法切割、且尺寸超限,可考慮光學(xué)顯微鏡、激光掃描顯微鏡等作為補(bǔ)充手段。


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作者:澤攸科技


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