掃描電鏡樣品臺(tái)能旋轉(zhuǎn)和傾斜嗎?
日期:2025-08-29
大多數(shù)掃描電鏡(SEM)的樣品臺(tái)都具備旋轉(zhuǎn)和傾斜功能,目的是為了更靈活地觀察樣品不同角度的結(jié)構(gòu)。具體情況如下:
1. 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)
水平旋轉(zhuǎn)(旋轉(zhuǎn)軸):樣品可以繞垂直軸旋轉(zhuǎn),方便掃描整個(gè)樣品表面而無需移動(dòng)樣品。
用途:對(duì)比不同區(qū)域、拍攝全景、實(shí)現(xiàn)多視角成像。
旋轉(zhuǎn)范圍:一般 360° 連續(xù)旋轉(zhuǎn),部分 SEM 有限制角度或步進(jìn)旋轉(zhuǎn)。
2. 樣品臺(tái)傾斜(傾角/俯仰角)
傾斜軸:樣品可以繞水平軸傾斜一定角度。
用途:
觀察樣品側(cè)面結(jié)構(gòu)或微小凹凸。
進(jìn)行金相分析或斷面觀察。
優(yōu)化二次電子(SE)或背散射電子(BSE)信號(hào)對(duì)比。
傾斜范圍:通常 ±30° 到 ±70°,一些型號(hào)可達(dá) ±90°。
3. 注意事項(xiàng)
傾斜后樣品高度會(huì)改變,需要重新調(diào)整工作距離(WD) 和 聚焦。
傾斜角度過大可能導(dǎo)致 樣品碰到腔壁或探頭,要小心操作。
重量或形狀不規(guī)則的樣品傾斜時(shí)要保證固定穩(wěn)固,避免脫落。
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作者:澤攸科技
