掃描電鏡圖像對(duì)比度不足的原因分析
日期:2025-10-11
掃描電鏡圖像對(duì)比度不足通常由以下幾方面原因造成:
加速電壓過高或過低:加速電壓過高時(shí)電子穿透樣品過深,信號(hào)差異減小;過低時(shí)信號(hào)噪聲比上升,導(dǎo)致圖像灰度層次不明顯。
樣品導(dǎo)電性差:電荷積聚會(huì)使二次電子發(fā)射不均勻,降低明暗反差。
探測(cè)器信號(hào)設(shè)置不當(dāng):二次電子與背散射電子探測(cè)器的增益或偏置設(shè)置不合理,會(huì)影響亮度和對(duì)比度。
束流電流或掃描速度不合適:束流過大易產(chǎn)生飽和,過小則信號(hào)太弱,掃描過快信號(hào)平均不足。
樣品表面形貌或成分差異較小:當(dāng)樣品區(qū)域間的電子散射特性相似時(shí),自然對(duì)比度較低。
此外,不同品牌和型號(hào)的掃描電鏡在電子光學(xué)系統(tǒng)、探測(cè)器靈敏度及圖像處理算法上各有差異,因此在同樣樣品和條件下,獲得的對(duì)比度可能不同。熟悉所使用設(shè)備的特性,合理調(diào)整參數(shù),是提升圖像對(duì)比度的關(guān)鍵。
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作者:澤攸科技
