掃描電鏡圖像噪聲主要來源多樣，不同類型噪聲的產(chǎn)生機制不同，抑制方法也有所差異。常見噪聲類型及對應(yīng)抑制方法如下：

電子信號統(tǒng)計噪聲

來源：電子束在樣品上產(chǎn)生二次電子或背散射電子時，電子數(shù)量有限且隨機波動，導(dǎo)致信號本身有隨機起伏。

抑制方法：增加電子束電流，提高探測信號強度；延長掃描時間或累加多幀圖像以平均噪聲；使用探測器增益優(yōu)化。

電氣噪聲

來源：探測器、放大器和電纜線路中產(chǎn)生的電子噪聲，如熱噪聲或電源干擾。

抑制方法：確保電子系統(tǒng)接地良好，減少干擾源；使用屏蔽電纜；在可能的情況下降低放大器噪聲；保持設(shè)備溫度穩(wěn)定。

充電噪聲

來源：非導(dǎo)電樣品或局部絕緣區(qū)域積累電荷，產(chǎn)生局部電場，擾動電子束，導(dǎo)致圖像亮度隨機波動或斑點。

抑制方法：對樣品進行金屬噴鍍或?qū)щ娞幚恚唤档碗娮邮娏骱图铀匐妷?；使用低真空模式或環(huán)繞導(dǎo)電膜。

機械振動噪聲

來源：樣品臺、電子槍或?qū)嶒炇噎h(huán)境的振動引起圖像模糊或高頻噪聲。

抑制方法：使用減振平臺；確保設(shè)備安裝穩(wěn)固；減少附近振動源干擾。

環(huán)境電磁干擾

來源：實驗室電器、磁場波動或強射頻干擾影響電子束偏轉(zhuǎn)和探測信號。

抑制方法：遠(yuǎn)離強電磁源；使用屏蔽室或屏蔽罩；保證電源穩(wěn)定。

圖像處理或數(shù)字噪聲

來源：信號采集后的數(shù)模轉(zhuǎn)換或圖像處理過程中引入的誤差。