掃描電鏡的放大倍數(shù)實現(xiàn)方式與傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡有根本性的不同，它并不是通過透鏡的組合來“放大”圖像。

掃描電鏡的放大，本質(zhì)上是“縮小”電子束在樣品表面掃描的范圍。

下面來分步解析這個過程：

1. 基本原理：逐點掃描與同步成像

首先，掃描電鏡的工作方式就像用手指讀文章一樣，是逐點掃描的。它產(chǎn)生一個非常纖細(xì)的電子束（稱為“電子探針”），聚焦在樣品表面。

這個電子束會在樣品表面一個小矩形區(qū)域內(nèi)，按照從左到右、從上到下的順序，一個點一個點地進(jìn)行掃描。

當(dāng)電子束轟擊到樣品每一個點時，會激發(fā)出各種信號（如二次電子、背散射電子等）。探測器會捕捉這些信號，并轉(zhuǎn)換成電信號。

這個電信號的強度，被同步地傳遞到計算機屏幕上對應(yīng)位置的一個像素點的亮度上。

簡單來說：樣品上被電子束轟擊的那個“點”，與屏幕上顯示的“像素點”是一一對應(yīng)的。

2. 放大倍數(shù)的關(guān)鍵：改變掃描范圍

現(xiàn)在，關(guān)鍵來了：屏幕上圖像的大?。ㄏ袼財?shù)）通常是固定的，比如始終是1000x1000像素。

低倍數(shù)情況： 如果讓電子束在樣品上一個 100微米 x 100微米 的大方塊里掃描，那么這1000像素的寬度就對應(yīng)樣品的100微米。這時，圖像看起來很小，細(xì)節(jié)不清晰，這就是低倍數(shù)。

高倍數(shù)情況： 如果控制掃描線圈，讓電子束只在樣品上一個 1微米 x 1微米 的極小方塊里掃描，那么屏幕上同樣的1000像素的寬度，現(xiàn)在就只對應(yīng)樣品的1微米。這樣，樣品上微小的細(xì)節(jié)就被“撐滿”了整個屏幕，圖像看起來就非常巨大，這就是高倍數(shù)。