在掃描電子顯微鏡 (SEM) 中進(jìn)行多區(qū)域的自動(dòng)化成像是提高效率和準(zhǔn)確性的重要方法，尤其是在對(duì)多個(gè)樣品區(qū)域進(jìn)行批量分析時(shí)。大多數(shù)現(xiàn)代 SEM 都提供了自動(dòng)化成像的功能，通?？梢酝ㄟ^(guò)軟件實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)選擇、設(shè)置成像參數(shù)，并自動(dòng)捕獲圖像。以下是如何在 SEM 中實(shí)現(xiàn)多區(qū)域自動(dòng)化成像的關(guān)鍵步驟：

1. 選擇多區(qū)域掃描

SEM 提供了多區(qū)域掃描的功能，可以通過(guò)軟件界面選擇多個(gè)感興趣區(qū)域進(jìn)行自動(dòng)掃描。

步驟：

在 SEM 的控制軟件中（如 ZEISS SmartSEM、Thermo Scientific Avizo、Hitachi FlexSEM 等），通?？梢哉业揭粋€(gè)“Multi-Area”或“Multi-Region”的選項(xiàng)。

使用鼠標(biāo)或圖像上的工具框選擇多個(gè)目標(biāo)區(qū)域，軟件會(huì)記錄這些位置。

2. 設(shè)置自動(dòng)化成像參數(shù)

在設(shè)置多區(qū)域自動(dòng)成像前，需要根據(jù)樣品和實(shí)驗(yàn)?zāi)繕?biāo)設(shè)定合適的成像參數(shù)。這些參數(shù)通常包括：

放大倍率：每個(gè)區(qū)域的放大倍率可以相同或不同。

加速電壓：根據(jù)樣品的材料和所需分辨率設(shè)置合適的電壓。

工作距離：確保焦距和工作距離保持一致，以保證圖像清晰。

掃描速度：不同區(qū)域可能需要不同的掃描速度，取決于你希望的圖像質(zhì)量和成像時(shí)間。

圖像分辨率：選擇圖像的分辨率（像素大?。?，以確保每個(gè)區(qū)域的圖像達(dá)到所需精度。

這些參數(shù)可以為所有選擇的區(qū)域統(tǒng)一設(shè)定，或?yàn)槊總€(gè)區(qū)域單獨(dú)設(shè)定。

3. 自動(dòng)對(duì)焦和對(duì)準(zhǔn)

為了在自動(dòng)化成像過(guò)程中確保每個(gè)區(qū)域的圖像質(zhì)量，SEM 軟件通常提供自動(dòng)對(duì)焦和對(duì)準(zhǔn)功能。

自動(dòng)對(duì)焦：在每次移動(dòng)到新區(qū)域時(shí)，軟件會(huì)自動(dòng)調(diào)整焦距。

自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)：在進(jìn)行成像前，對(duì) SEM 的樣品臺(tái)進(jìn)行自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)，以確保每個(gè)區(qū)域在相應(yīng)的視場(chǎng)內(nèi)。

有些 SEM 設(shè)備甚至提供全景圖像拼接功能，在成像完成后將多個(gè)區(qū)域的圖像自動(dòng)拼接為一張大的高分辨率圖像。

4. 路徑規(guī)劃與多點(diǎn)自動(dòng)成像

自動(dòng)化成像軟件通常會(huì)為選擇的區(qū)域生成一個(gè)掃描路徑，并按順序進(jìn)行成像。軟件通常允許你執(zhí)行以下操作：

自動(dòng)路徑生成：系統(tǒng)根據(jù)所選的點(diǎn)自動(dòng)規(guī)劃樣品臺(tái)的移動(dòng)路徑。

多點(diǎn)圖像采集：軟件根據(jù)路徑依次自動(dòng)移動(dòng)到各個(gè)選定區(qū)域并采集圖像。

圖像保存：自動(dòng)保存圖像，并根據(jù)區(qū)域編號(hào)進(jìn)行命名，避免混淆。

5. 使用自動(dòng)化腳本（自動(dòng)化功能）

一些 SEM 控制軟件支持用戶編寫(xiě)腳本，用于更靈活的自動(dòng)化成像操作。你可以利用腳本定義多個(gè)區(qū)域的掃描順序、圖像捕獲參數(shù)等。常用的腳本語(yǔ)言如 Python、Gatan DM scripting、或?qū)Ｓ玫?SEM 控制語(yǔ)言。

6. 使用 EDS 或其他分析方法的多區(qū)域自動(dòng)化

在多區(qū)域自動(dòng)成像中，除了獲取圖像外，還可以結(jié)合其他分析技術(shù)（如能譜分析 (EDS)）進(jìn)行多點(diǎn)自動(dòng)分析。對(duì)于每個(gè)區(qū)域，不僅獲取圖像，還可以進(jìn)行元素分析、光譜采集等。

多點(diǎn)能譜分析：自動(dòng)在多個(gè)點(diǎn)位進(jìn)行 X 射線譜分析，采集對(duì)應(yīng)區(qū)域的元素信息。

EDS mapping：對(duì)每個(gè)選定區(qū)域自動(dòng)進(jìn)行元素映射，得到成分分布。

7. 高通量自動(dòng)化

對(duì)于一些大樣品或需要高通量成像的情況，部分 SEM 配備了自動(dòng)樣品臺(tái)（如多樣品樣品臺(tái)），可以一次放置多個(gè)樣品，軟件自動(dòng)識(shí)別并成像。這對(duì)材料科學(xué)研究中需要對(duì)大量樣品進(jìn)行掃描的任務(wù)特別有用。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中進(jìn)行多區(qū)域的自動(dòng)化成像。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢