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如何判斷掃描電鏡圖像中的條紋是否為干擾?

日期:2025-04-30

判斷掃描電鏡(SEM)圖像中的條紋是否為干擾(artifact),可以從以下幾個方面著手分析:

1. 條紋方向是否與掃描方向一致?

條紋平行于掃描線(橫向):很可能是電子束掃描系統(tǒng)的干擾,如振動、電源噪聲或掃描偏轉(zhuǎn)不穩(wěn)定。

條紋垂直于掃描線(縱向):可能是樣品充電、樣品形貌引起的掃描信號響應(yīng)異常。

2. 多次拍攝是否復(fù)現(xiàn)條紋?

固定位置、多次成像都有條紋:可能是樣品本身問題(如表面結(jié)構(gòu)、污染物、刻蝕痕)。

換區(qū)域或旋轉(zhuǎn)樣品后條紋消失或改變方向:更可能是系統(tǒng)干擾。

3. 樣品導(dǎo)電性是否良好?

非導(dǎo)電樣品、未鍍膜:容易因電荷積累產(chǎn)生條紋、亮帶或漂移。

可嘗試低壓觀察或?qū)悠繁砻孢M行導(dǎo)電涂層處理(如金、碳鍍膜)。

4. 設(shè)備狀態(tài)是否穩(wěn)定?

檢查以下是否存在問題:

電源穩(wěn)定性(尤其是掃描偏轉(zhuǎn)電源);

真空系統(tǒng)不穩(wěn)定;

線纜接觸不良;

外部電磁干擾(如鄰近電機、電焊、空調(diào)等設(shè)備)。

5. 條紋是否規(guī)律重復(fù)?

周期性規(guī)則條紋:可能是電子槍、偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)或信號采集系統(tǒng)受到周期性噪聲干擾。

隨機不規(guī)則條紋:更可能是電子束不穩(wěn)定、樣品靜電或環(huán)境干擾。

簡單判斷步驟總結(jié):

換樣品區(qū)域/旋轉(zhuǎn)樣品觀察條紋是否變化;

調(diào)節(jié)掃描速度看看條紋是否增強/減弱;

檢查樣品導(dǎo)電性是否良好,有無充電效應(yīng);

查看系統(tǒng)接地和周邊干擾源;

拍攝不同倍率/不同電壓圖像,比較條紋響應(yīng)。


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作者:澤攸科技


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