提升掃描電子顯微鏡（SEM）的分辨率，本質(zhì)上就是要讓電子束更細(xì)、更穩(wěn)定地聚焦到樣品表面，并減少信號(hào)干擾。通?？梢詮囊韵聨讉€(gè)方面入手：

1. 電子光學(xué)系統(tǒng)方面

提高電子槍性能

使用 場(chǎng)發(fā)射槍?zhuān)啾葌鹘y(tǒng)鎢燈絲電子槍?zhuān)芰糠植几?、亮度更高，電子束更?xì)，從而分辨率更高。

降低加速電壓（適度）

高電壓下，電子束穿透深、散射強(qiáng)，導(dǎo)致信號(hào)來(lái)自更大體積區(qū)域，分辨率降低。

低電壓成像可減少電子與樣品的相互作用體積，提升表面分辨率。

但過(guò)低電壓會(huì)導(dǎo)致信號(hào)強(qiáng)度不足，需要配合高亮度電子槍和靈敏探測(cè)器。

減小光闌孔徑

縮小物鏡光闌，能減少電子束發(fā)散，減小光斑尺寸，提高分辨率。

但過(guò)小會(huì)降低束流強(qiáng)度，導(dǎo)致信噪比下降。

2. 真空與環(huán)境因素

提高真空度

高真空能減少電子散射，保證電子束穩(wěn)定聚焦。

特別是場(chǎng)發(fā)射槍?zhuān)瑢?duì)真空度要求高。

減小環(huán)境干擾

SEM 對(duì)震動(dòng)、磁場(chǎng)、溫度漂移非常敏感。

應(yīng)使用防震臺(tái)、屏蔽磁場(chǎng)、恒溫室來(lái)提升穩(wěn)定性。

3. 樣品制備與處理

表面導(dǎo)電化

非導(dǎo)體樣品易帶電，導(dǎo)致電子束偏轉(zhuǎn)、圖像模糊。

需鍍金、鍍碳或使用低真空/環(huán)境 SEM 避免充電效應(yīng)。

表面清潔與光滑化

污染、灰塵會(huì)影響電子與樣品的相互作用，降低分辨率。

選擇合適的入射角

傾斜樣品可增強(qiáng)表面信號(hào)，提升分辨率。

4. 信號(hào)探測(cè)與后處理

選擇合適探測(cè)器

二次電子探測(cè)器（SE）適合表面分辨率提升。

背散射電子探測(cè)器（BSE）更多反映成分對(duì)比，不利于高分辨率。

優(yōu)化掃描速度

適度降低掃描速度可提高信噪比，減少圖像噪聲。

但過(guò)慢會(huì)增加漂移影響。

圖像后處理

利用去噪算法或信號(hào)平均，可在一定程度上提升圖像清晰度，但無(wú)法替代硬件提升。