掃描電鏡（SEM）一般不適合直接觀察厚樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，但能在一定程度上觀察其表面特征。是否能“看厚樣品”，主要取決于以下幾個(gè)方面：

1. 電子束穿透能力有限

掃描電鏡使用的是高能電子束，而電子在物質(zhì)中的穿透深度很小，通常只有幾納米到幾微米。

因此，SEM 主要用于觀察樣品的表面形貌，電子束無法穿透厚樣品去成像其內(nèi)部。

2. 樣品表面須導(dǎo)電

厚樣品（如金屬塊、陶瓷片等）如果表面不導(dǎo)電，會(huì)導(dǎo)致電荷積聚，出現(xiàn)圖像漂移或噪聲。

通常需要對(duì)樣品表面進(jìn)行導(dǎo)電鍍層（如金、碳等）處理。

3. 樣品尺寸受真空腔體限制

掃描電鏡工作時(shí)需要在高真空下進(jìn)行，大多數(shù)儀器的樣品腔空間有限。

若樣品過厚或體積太大，可能無法放入樣品腔，或電子束無法聚焦到樣品的目標(biāo)區(qū)域。

4. 可切割或傾斜觀察

若樣品較厚，可通過以下方法實(shí)現(xiàn)觀察：

切割或研磨樣品，使其暴露出需要觀察的表面；

使用 低角度傾斜臺(tái)，從不同角度觀察表面特征；

對(duì)于生物或復(fù)合材料，可先用離子束或超薄切片技術(shù)制備斷面。

5. 特殊情況：低真空或環(huán)境電鏡

部分低真空 SEM 或環(huán)境 SEM 可以觀察較厚或非導(dǎo)電樣品，因?yàn)樗鼈兡茉谝欢鈮合鹿ぷ?，不需要完全真空環(huán)境，對(duì)樣品厚度和表面電性要求較低。