在掃描電鏡成像中，樣品是否位于正確的焦平面，直接決定圖像的清晰度和細節(jié)分辨率。焦平面可以理解為電子束聚焦后在樣品表面形成的適合的成像平面，判斷是否準確對焦，是獲得高質量圖像的關鍵環(huán)節(jié)。不同品牌和型號的掃描電鏡在焦距調節(jié)和顯示響應上略有差異，因此具體判斷方式也會有所不同。

首先，可以通過觀察圖像清晰度判斷焦平面。當樣品處于焦平面時，圖像邊緣銳利、對比度高、顆粒結構分明；若樣品偏離焦平面，圖像會出現(xiàn)模糊、拖影或局部失焦。操作者可在電子束聚焦時輕微上下調整樣品高度或改變工作距離，尋找圖像最清晰的位置，即為焦平面所在。

其次，可借助高倍率下的動態(tài)變化進行判斷。在逐步提高放大倍率的過程中，若圖像始終保持清晰，說明樣品已在焦平面上；若一放大圖像就迅速變模糊，則表示焦點偏離樣品表面，需要重新微調焦距或樣品高度。

第三，可結合樣品表面地形觀察。當樣品表面存在高度差時，部分區(qū)域清晰、部分模糊，說明焦平面只對應某一高度層。此時可以根據(jù)實驗需求選擇對焦在特定區(qū)域，或通過樣品傾斜與多點聚焦方式實現(xiàn)更均勻的成像。

總體來說，判斷樣品焦平面主要依靠圖像清晰度、放大倍率下的焦距穩(wěn)定性和表面特征變化來綜合判斷。由于不同品牌的掃描電鏡在自動聚焦算法和工作距離校準機制上各有差異，建議在操作時結合設備說明書或咨詢廠家技術支持，以獲得更準確的焦平面調整指導。